由 dawei （原标题：台积电年报首度提及2nm技术 去年开始研发）
【TechWeb】4月24日消息，据台湾媒体报道，台积电近日上传了2019年年报，并在年报中首度提及2nm技术。
在2018年年报中，台积电的表述为，公司3nm技术已进入全面开发阶段，而3nm以下的技术已开始定义并密集进行先期开发。
在2019年年报中，台积电表示，当台积电公司采用三维电晶体之第六代技术平台的3nm技术持续全面开发时，公司已开始开发领先半导体业界的2nm技术，同时针对2nm以下的技术进行探索性研究。
关于3nm制程技术，台积电表示，相较于5nm制程技术，3nm制程技术大幅提升晶片密度及降低功耗并维持相同的晶片效能。2019年，台积电的研发着重于基础制程制定、良率提升、电晶体及导线效能改善以及可靠性评估。台积电表示，今年将持续进行3nm制程技术的全面开发。
台积电未详细介绍2nm制程技术。
关于微影技术，台积电表示，去年，微影技术研发的重点在于5nm的技术转移、3nm技术的开发及2 nm以下技术开发的先期准备。5nm技术已经顺利地移转，研发单位与晶圆厂合作排除极紫外光微影量产问题。